Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS

Vijay K. Varadan (Author), Xiaoning Jiang (Author), V. V. Varadan (Author)

9780471521853, Wiley

Hardback, published 29 January 2001

272 pages
23.2 x 16 x 2.1 cm, 0.539 kg

"This book gives a fascinating introduction to the subject, and places it superbly within its context....It is original, timely and well written." (Engineering Science & Education Jnl. April 2002)

Eine moderne Einführung in das relativ junge Gebiet der Erzeugung winziger Strukturen, die insbesondere zur Herstellung von Mikrosensoren, Schrittmotoren und miniaturisierten Signalverarbeitungseinheiten benötigt werden. Besprochen wird eine ganze Palette von Mikrofertigungstechniken wie Laserablation und LIGA. Angesprochen werden dabei auch modernste Anwendungsgebiete wie organische Dünnschichttransistoren (TFTs), Antennen, drahtlose Telemetriesysteme und Systeme zur Signalweiterleitung.

Preface.

Microelectromechanical Systems.

Fundamentals of Polymer Synthesis for MEMS.

Stereolithography (SL).

Microstereolithography Techniques I-Scanning Method.
Microstereolithography Techniques II-Projection Method.

Polymeric MEMS Architecture with Silicon, Metal, and Ceramics.

Combined Silicon and Polymeric Structures.
Micromolding.
Applications.

Appendix 1: Some Polymers for MEMS.
Appendix 2: An Example of CAD Model and NC Codes for Microstereolithography.

Index.

Subject Areas: Electronics & communications engineering [TJ]