Microsensors, MEMS, and Smart Devices

Julian W. Gardner (Author), Vijay K. Varadan (Author), Osama O. Awadelkarim (Author)

9780471861096, Wiley

Hardback, published 20 November 2001

522 pages
24.6 x 17.4 x 3.6 cm, 1.103 kg

"Smart Devices" sind gefragt: Ob es um "intelligente" Wandverkleidungen zur Lärmdemmung in Hubschraubern oder um "sprechende" Etiketten von Nahrungsmitteln geht, "mitdenkende" Geräte könnten uns das Leben in vielen Bereichen erleichtern. Die Autoren dieses Buches beschreiben einerseits die Herstellung intelligenter Sensoren und andererseits deren Verknüpfung mit speziellen Stellgliedern zu mikroelektromechanischen Systemen, von deren Möglichkeiten der Leser einen umfassenden Eindruck erhält.

Introduction

Electronic Materials and Processing

MEMS Materials and their Preparation

Standard Microelectronic Technologies

Silicon Micromachining:Bulk

Silicon Micromachining: Surface

Microstereolithography for MEMS

Microsensors

Introduction to SAW Devices

Surface Acoustic Waves in Solids

IDT Microsensor Parameter Measurement

IDT Microsensor Fabrication

IDT Microsensors

MEMS-IDT Microsensors

Smart Sensors and MEMS

Appendices

Index

Subject Areas: Electronics & communications engineering [TJ]